



溫州純水制取設(shè)備廠家-電子行業(yè)用超純水設(shè)備
一、電子行業(yè)用超純水設(shè)備的概述:
該設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。其中,集成電路的集成度越高,線寬越窄,那么對水質(zhì)的要求也會越高。
二、電子工業(yè)制作超純水的工藝介紹:
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水,其基本工藝流程為:原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-精密過濾器-中間水箱-陽床-陰床-混床-超純水箱-超純水泵-后置保安過濾器-用水點(diǎn)
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程是:原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-精密過濾器-中間水箱-反滲透設(shè)備-混床-超純水箱-超純水泵-后置保安過濾器-用水點(diǎn)
3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水-多介質(zhì)過濾器-活性炭過濾器-精密過濾器-中間水箱-反滲透設(shè)備-電去離子(EDI)-超純水箱-超純水泵-后置保安過濾器-用水點(diǎn)
過濾單元詳細(xì)說明
1、原水增壓泵
常設(shè)于系統(tǒng)進(jìn)口處,用以保證系統(tǒng)能有正常壓力進(jìn)入到后端的預(yù)處理單元,使水壓恒定并且大于0.3MPa,以保證系統(tǒng)進(jìn)水能夠安全地工作。
2、多介質(zhì)過濾器
內(nèi)裝錳砂、石英砂和無煙煤。設(shè)計(jì)流速為15m/h,內(nèi)部設(shè)備有合理的上下布水系統(tǒng),具有布水均勻、出水水質(zhì)穩(wěn)定等優(yōu)勢,同時(shí)保證了系統(tǒng)水通量。
3、反滲透系統(tǒng)
(1)RO系統(tǒng)介紹:反滲透裝置在工藝中主要去除掉水中99%y以上的陰、陽離子及有機(jī)物、熱源和細(xì)菌等。反滲透一級脫鹽系統(tǒng)由RO膜組件、高壓泵、RO清洗裝置等組成。
(2)RO配套部件介紹
a反滲透配套電導(dǎo)儀,顯示即出水電導(dǎo)率,便于監(jiān)測。配套進(jìn)出水流量計(jì)、壓力表等,便于觀察設(shè)備是否正常進(jìn)行。
b進(jìn)水、濃水、淡水閥:主要調(diào)節(jié)RO進(jìn)水量、產(chǎn)水量、進(jìn)水壓力、濃水壓力及回收率。
c高壓泵進(jìn)口設(shè)低壓保護(hù)器。
d液位自控:主要用于防止停水情況下,高壓泵繼續(xù)運(yùn)行而使高壓泵損壞,
4、混床系統(tǒng)
(1)混床系統(tǒng)介紹:為使工藝用水的純度更純,在反滲透裝置之后增設(shè)混合離子交換器,以進(jìn)一步提高系統(tǒng)產(chǎn)水水質(zhì)。
(2)混床配套部件介紹;混和離子交換器以反滲透系統(tǒng)出水為進(jìn)水。內(nèi)填強(qiáng)酸陽離子交換樹脂和強(qiáng)堿陰離子交換樹脂。每臺混合離子交換器配置電阻率儀,以出水電阻率參數(shù)值來控制樹脂再生周期。



